1.測量方式上：氣動測量為沒有測量力的不接觸式測量電感測量為有微小測量力的接觸式測量

2.測量值氣動測量的一個小區(qū)域的平均值（氣嘴區(qū)域）電感測量是測量工件上的一點，測量的*大值

3.測頭結構氣動測頭的結構是單零件結構，構造比較簡單電感測頭的結構是多零件結構，構造比較復雜

4.對能源的需求氣動測量 需要氣和電電感測量 需要電

5.測量對切屑和灰塵的敏感度氣動測量 不敏感，因為不接觸測量且測量的是一個小區(qū)域的平均值電感測量 敏感，因為是接觸式測量且為點接觸測量，測量的是*大值

6.校準過程氣動測量  *大*小校正規(guī)校準（雙規(guī)校準）電感測量  零位較正規(guī)校準（單規(guī)校準）

7． 重復精度和測量不確定度氣動測量  相對較高電感測量相對較低

8.可靠性氣動測量依賴于放大器的精度和環(huán)境條件電感測量依賴于測頭質(zhì)量和環(huán)境條件

9.自動化項目選用氣動量儀   相對配合間隙較小，需要非標測頭做相應倒角并配有浮動機構電感量儀   相對配合間隙較大，應用相對容易，對機械運動機構精度要求相對較低